問：在使用中為什么有些金屬鍍不上？

答：直流磁控濺射儀器針對不同金屬需要調整不同的參數，靶材厚度、本底真空度、氬氣環境、電流大小、磁場強弱都對鍍膜起著決定性的作用。比較容易鍍的金屬銅、銀、金等，日常鍍膜不容易鍍的金屬鉻、鎳、鋁、鈦等

問：為什么剛開始使用時可以鍍上，用過一段時間就不太好鍍了？

答：可能存在磁場減弱，導致磁場無法穿透有些靶材。形成原因可能是在鍍膜時候忘記打開水冷機，高溫導致靶頭字長減弱，磁場很難穿透厚的樣品，難以起輝。建議在選擇靶材的時候可以選擇薄一些的靶材，且在設備使用時候先打開水冷機，避免操作失誤導致磁場減弱。

問：真空度在越來越難以抽下去怎么辦？

答：1、鍍膜越久，腔體內部積累的膜層越厚，此時各種縫隙很容易藏空氣，導致真空度難以抽下去，建議在使用一段時間后，草酸清洗內部涂層。若涂層難以去除，可用砂紙或者鋼絲球打磨，注意不要破壞玻璃罩上下邊緣。

2、玻璃罩在使用過程中會不小心磕碰到邊緣，會出現細小的裂紋及豁口，導致真空度下不去，如果是這種情況建議及時更換。3、在操作過程中，玻璃罩需要經常取下，導致玻璃罩上下密封圈污染，密封不嚴。可以每次在測試之前用棉簽擦拭密封圈及玻璃罩上下邊緣。

問：在濺射時電壓上升至1000V，或者低于300V導致不起輝或者起輝不正常？

答：上升至1000V是設備短路，將靶材罩擰開一些，距離靶材壓環大概3mm左右。電壓低于300V是靶材接觸不良，將靶材取下，用細砂紙打磨靶材和底座，使其接觸良好，若靶材太薄，可用銅靶材當作背板。

問：使用時候設備打火是什么情況？

答：靶頭底部有個peek絕緣板，長時間邊緣會鍍上金屬，這樣在鍍膜時導致短路打火燒壞。如果已經出現燒壞的現象需要把絕緣板卸下來用砂紙打磨下再裝回去或者直接更換新的。建議使用一段時間后打磨絕緣板，避免金屬涂層積累。

設備維護：

1、每次做完實驗后，如果長時間不用，可以運行真空泵，保持腔體內密封，避免內部污染。

2、腔體內部涂層積累及時清理，確保本底真空度，使鍍膜時達到一個更好的狀態。

3、設備運行時先打開水冷機，避免因高溫消磁靶座。

4、及時打磨PEEK絕緣板，避免沉積過多金屬層導致短路。

5、應避免電源工作在周圍有揮發性可燃液體、腐蝕性液體、導電纖維粉塵較多的場所。

6、請勿在設備上面放置較重的雜物和盛有液體的容器，應避免電源遭受雨水浸淋和日光直接照射。